深圳超滑技术平台

深圳清华大学研究院超滑技术研究所超滑技术实验平台，简称深圳超滑技术平台（SSTP），由深圳市政府和坪山区政府支持建设，深圳清华大学研究院超滑技术研究所负责搭建运营，于2021年在深圳坪山落成，是集结构超滑技术创意和研究公共实验开发、创新技术产业化支撑、公共微纳加工技术服务和科技创新教育重要技术支持为一体的颠覆性技术应用研发平台。

平台拥有世界一流的结构超滑研发/微纳加工设备，主要工艺能力包括：光刻、镀膜、刻蚀、键合，抛光，表征测试，封装，器件测试等。在微纳加工领域为企业、科研院所及高校提供工艺整合、共同工艺开发等技术服务。