平台于2021年在深圳坪山落成，拥有300余台微纳加工、封装及测试表征设备（其中大型设备40余台），具备6英寸自超滑MEMS/NEMS芯片研发与全流程制备能力，同时大部分单步工艺支持8英寸芯片加工。提供多种自超滑材料制备、组装、测试服务；提供自超滑器件概念验证及中试服务

平台将数字化工具深度融入实验管理全流程，依托尖端设备、精湛工艺与卓越服务体系，已成功为数百家企业及科研机构提供服务。