亮相光博会丨深圳超滑技术平台解锁微纳制造创新解决方案
来源：清力技术 2025-09-16
2025年9月10-12日，第26届中国国际光电博览会在深圳国际会展中心（宝安）举行。深圳清力技术有限公司运营的深圳超滑技术平台（SSTP）以自超滑微纳加工整体解决方案为核心参展内容，展示了其在解决高精度加工与超低损耗器件瓶颈中的技术能力。平台凭借数字化管理体系、尖端设备集群及创新应用案例，吸引了半导体、光电子等领域专业人士的深度交流，为行业提供产业化新路径。
微纳制造的科研
与产业化枢纽
深圳超滑技术平台（SSTP）是由深圳清华大学研究院超滑技术研究所建设、清力技术运营的深圳市重点实验室。平台集成自超滑技术研究、微纳加工服务和产业化支撑功能，拥有300余台专业设备（含40台大型设备），具备6英寸自超滑MEMS/NEMS芯片全流程制备能力，并支持8英寸芯片的单步工艺。依托中国科学院院士郑泉水团队20余年技术积累，平台已建立107项标准化工艺，通过ISO9001-2015认证，为数百家企业和科研机构提供研发支持。
引领行业发展方向
展会现场，清力技术团队通过"技术展示+实物样品"的创新形式，全方位展示了多项突破性技术成果。其中，大面积激光直写技术结合微透镜阵列，可以实现了256阶灰度的高精度图案化加工；纳米压印模板制造技术达到纳米级曝光精度，可满足高端纳米光学器件的核心制造需求；电子束光刻及其配套工艺成果展示了硅基光电子、超表面及衍射光学元件等前沿制备能力，将有力先进光通信及显示领域的技术升级；AFM探针悬臂梁样品则充分体现了平台在精密器件的卓越加工能力，为科研仪器开发提供了重要支撑。
此外，团队自主研发的"自超滑技术"也引发了与会者的广泛关注，技术人员从基础原理到应用场景进行了深入浅出的讲解。
共建创新生态
“我们正开放镀膜、刻蚀、封装等全流程设备服务，助力企业突破微纳制造瓶颈。”深圳超滑技术平台负责人现场表示，目前，平台已面向行业开放自超滑材料制备、设备性能验证等公共服务，并与多家知名企业、高等院校及科研院所建立了长期稳定的合作关系。展会期间，平台也开放了工艺开发与设备验证的合作通道，与多家潜在合作伙伴展开了富有成效的洽谈。
近期，清力技术完成的Pre-A轮融资将重点用于加大研发投入，加速推进平台建设和自超滑技术应用领域的拓展。未来，公司将持续深化产学研协同创新，依托深圳超滑技术实验室的技术验证服务体系，为中国微纳制造技术的升级发展提供强有力的支撑。
