环境扫描电子显微镜 ESEM
参数：
高真空模式：30 kV时优于1.0 nm；1 kV时优于3.0 nm
低真空模式：30 kV时优于1.3 nm；3 kV时优于3.0 nm。
环境真空模式 (ESEM)：30 kV 时优于 1.3 nm
背散射电子 (BSE) 像分辨率：30 kV时优于2.5 nm
加速电压： 0.2 kV－30 KV
最大样品高度：85 mm
最大样品尺寸：122 mm
•配Oxford Xplore 30能谱仪
•配MM3A-EM纳米机械手
•配MIS-EM微注入仪
高真空模式：30 kV时优于1.0 nm；1 kV时优于3.0 nm
低真空模式：30 kV时优于1.3 nm；3 kV时优于3.0 nm。
环境真空模式 (ESEM)：30 kV 时优于 1.3 nm
背散射电子 (BSE) 像分辨率：30 kV时优于2.5 nm
加速电压： 0.2 kV－30 KV
最大样品高度：85 mm
最大样品尺寸：122 mm
•配Oxford Xplore 30能谱仪
•配MM3A-EM纳米机械手
•配MIS-EM微注入仪
应用：
微纳尺度形貌结构观测，成分分析
原子力显微镜AFM
参数：
•扫描范围：100 μm×100 μm（可向下兼容）
•真空吸附最大尺寸：直径200 mm
•扫描范围：100 μm×100 μm（可向下兼容）
•真空吸附最大尺寸：直径200 mm
应用：
表面粗糙度测量
•表面形貌表征
•电学性能测量（PFM/EFM)
力阵列测量（F-D Mapping)
•机械性能测量
•力-距离曲线测量
•纳米力学测试PinPoint
